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品牌 | 罢别濒别诲测苍别础笔滨/美国 |
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激光器的出现,使古老的干涉技术得到迅速发展,激光具有亮度高、方向性好、单色性及相干性好等特点,激光干涉测量技术已经比较成熟。激光干涉测量系统应用非常广泛:精密长度、角度的测量如线纹尺、光栅、量块、精密丝杠的检测;精密仪器中的定位检测系统如精密机械的控制、校正;大规模集成电路设备和检测仪器中的定位检测系统;微小尺寸的测量等。&苍产蝉辫;
在大多数激光干涉测长系统中,都采用了迈克尔逊干涉仪或类似的光路结构。
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